下载具有通过使用正/负光刻胶的双电铸形成的锥形开口的阴影掩模的技术资料

文档序号:19245816

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公开用于阴影掩模的方法和设备。阴影掩模(200)包含:由金属材料制成的框架(210)和耦接至所述框架(210)的一个或多个掩模图案(205),所述一个或多个掩模图案(205)包括金属并且具有形成在所述一个或多个掩模图案(205)中的多个开口...
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