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蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及有机EL显示设备的制造方法技术
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文档序号:19245815
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提供抑制蒸镀时的蒸镀基板与蒸镀掩模的开口部的排列之间的位置错开,能够执行高精细的图案化之蒸镀掩模及其制造方法。蒸镀掩模(1)包含树脂膜(2),具有在蒸镀基板上用以由蒸镀成膜形成薄膜图案的开口部(4)的图案,其蒸镀掩模(1),包括比树脂膜(2...
该专利属于鸿海精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。
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