下载晶圆的制造方法的技术资料

文档序号:19244336

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

在通过利用线锯切断单结晶棒来制造晶圆的晶圆制造方法中,在线锯的线上的用于切断第1单晶锭的区域中,只使用磨损量以最大值维持稳定且直径以最小值维持恒定的线径稳定区域(R2),来切断第2单晶锭。...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。