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多层元件的边缘结构及其制造方法技术
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文档序号:19241479
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本发明公开了一种多层元件的边缘结构及其制造方法,其中多层元件包括叠层的多层单元层。此边缘结构包括第一及第二阶梯结构。第一阶梯结构位于多层元件的须形成接触窗的第一方向,包括各单元层的第一方向的第一边缘部,这些第一边缘部的边界随层级升高而逐渐内...
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