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本发明提供了一种检测对准偏移的方法，通过比较相邻两列接触孔的总电阻，判断出所述接触孔与所述控制栅之间的移位是否满足控制要求。由于接触孔位于控制栅的两端，当所述接触孔与控制栅发生了移位时，势必会造成接触孔与控制栅之间接触的面积发生改变，进而改...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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