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本发明提供了一种缺陷检测机台检测精度的校验方法及产品晶圆，通过获取产品晶圆中的虚拟结构，根据获取的虚拟结构的数据得出缺陷检测机台的检测精度，即无需使用标准片，由此能够降低对缺陷检测机台检测精度进行校验的校验成本。进一步的，由于采用的是制造过...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。