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一种快速启动的真空扩散泵制造技术
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文档序号:19237967
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一种快速启动的真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用局部加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热...
该专利属于青岛理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过青岛理工大学授权不得商用。
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