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本发明涉及清洗靶材的方法、靶材的制造方法、再循环铸锭的制造方法及再循环铸锭。本发明提供一种清洗靶材的方法，所述方法包括下述工序：从用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶分离靶材的工序；以及，用碱对靶材的与上述支承构件的...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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