下载电弧离子镀-磁控溅射复合沉积高温耐磨减摩AlTiN纳米多层涂层及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:19237101

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本发明属于材料涂层领域,公开了一种电弧离子镀‑磁控溅射复合沉积高温耐磨减摩AlTiN纳米多层涂层及其制备方法和应用。在经过离子源轰击清洗的基体表面,首先沉积金属AlTi结合层,以缓解基体与涂层热膨胀系数失配,增强膜‑基结合强度;再使用电弧离...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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