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提供具有优异的透湿性及阻气性、并且具有优异的耐化学药品性、透明性、弯曲性及耐热性的层叠薄膜。本发明的层叠薄膜依次具有：基材；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，第1氧化物层的厚度为10...
该专利属于日东电工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日东电工株式会社授权不得商用。

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