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一种以锌锡铝钾氧化物为沟道层的薄膜晶体管及其制备方法技术
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下载一种以锌锡铝钾氧化物为沟道层的薄膜晶体管及其制备方法的技术资料
文档序号:19217724
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本发明涉及薄膜晶体管技术领域,具体是一种以锌锡铝钾氧化物为沟道层的薄膜晶体管及其制备方法。本发明以锌锡铝钾氧化物材料作为沟道层,以有机聚四乙烯苯酚(PVP)材料作为绝缘层,以铝作为源、漏、栅电极,在普通玻璃基底上制备了顶栅共面结构的TFT。...
该专利属于贵州民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州民族大学授权不得商用。
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