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本专利公开了一种可实现自动翻转的基片架，用于在基片上形成溅射层环境下，包括：翻转机构、旋转机构和棘轮机构；所述棘轮机构与夹持所述夹爪相连接，用于传递翻转的动力，从而驱动所述夹爪带动基片翻转。所述旋转机构与设置多个夹爪的圆盘啮合，从而驱动所述...
该专利属于北京中科优唯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科优唯科技有限公司授权不得商用。

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