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本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种带加热装置的溅射镀膜装置，其特征在于：在所述溅射源的一侧设置有加热装置，所述加热机构与所述镀膜腔室内部相连通以对所述镀膜腔室内部进行加热。本实用新型的优点是：在成膜前先进行加热烘烤，可以高温烘烤除水...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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