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线激光移相干涉三角微位移测量装置及方法，属于超精密测量技术领域。本发明将移相干涉技术和激光三角技术结合起来，以实现大范围高精度微位移测量。本发明方案根据移相干涉原理和激光三角测距原理，采用整形扩束将光源输出变为线平行光束，通过光栅分光和四象...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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