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本发明一种新型的ALD设备前驱体源载气加热方法，包括:带伴热的质量流量计、气管路、出气管路以及气源瓶，所述进气管路与所述出气管路均与气源瓶连接，所述出气管远离气源瓶的一端连接反应腔，其中，使所述气源瓶中注入反应前驱气体，所述进气管路连接气源...
该专利属于滁州国凯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过滁州国凯电子科技有限公司授权不得商用。

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