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本发明提出了一种自动出料的方法，用于含硅薄膜的制备，包括：S1.抓取反应炉中的温度值；S2.至少根据所述的温度值与预设温度一致的指令，开启反应炉的出料口；S3.启动机械手，依次抓取含硅薄膜的成品，并投放在预设位置。本发明还公开了一种自动出料...
该专利属于深圳市硅光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市硅光半导体科技有限公司授权不得商用。

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