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一种二氧化钛纳米棒阵列薄膜的制备方法技术
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文档序号:19207297
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本发明公开了一种二氧化钛纳米棒阵列薄膜的制备方法。包括以下步骤:对基板材料进行化学清洗后用射频等离子体进行清洗,然后利用磁控溅射技术在基板上沉积钛薄膜层,经过热处理即可得到具有自清洁疏水特性的二氧化钛纳米棒阵列薄膜。相对现有技术,本发明极大...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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