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一种氮化硼薄膜的转移方法技术
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下载一种氮化硼薄膜的转移方法的技术资料
文档序号:19191623
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本发明公开了一种氮化硼薄膜的转移方法。本发明采用高分子聚合物作为辅助柔性外框,将低压化学气相沉积获得的单层六方氮化硼快速转移到目标衬底上,摆脱高分子聚合物残留的困扰,可以快速获得形状可控的六方氮化硼(h‑BN)薄膜样品,经多次转移可获得精确...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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