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本发明涉及一种PVD涂层生产制造过程中的等离子刻蚀清洗工艺，该工艺主要采用惰性和非惰性气体不同组合混合作为反应气体，产生的等离子体可同时达到物理离子清洗和化学离子清洗的作用，既可以去除工件表面吸附的氧化物、油脂、微颗粒物等残留，还可以去除工...
该专利属于江苏苏德涂层有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏苏德涂层有限公司授权不得商用。

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