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本实用新型提出一种微流体电容器,包括衬底及与所述衬底固定连接的盖板。其中,所述衬底朝向所述盖板的面上设置有一第一沟道,所述第一沟道中覆盖有一第一导电层,所述盖板朝向所述衬底的面上,对应所述第一沟道的位置,设置有一第二沟道,所述第二沟道中覆盖...该专利属于昌微系统科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昌微系统科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出一种微流体电容器,包括衬底及与所述衬底固定连接的盖板。其中,所述衬底朝向所述盖板的面上设置有一第一沟道,所述第一沟道中覆盖有一第一导电层,所述盖板朝向所述衬底的面上,对应所述第一沟道的位置,设置有一第二沟道,所述第二沟道中覆盖...