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基于锯齿结构的柔性压力传感器制造技术
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下载基于锯齿结构的柔性压力传感器的技术资料
文档序号:19188575
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本实用新型公开了一种基于锯齿结构的柔性压力传感器,包括两层锯齿形金属电容极板(1),在上下两层锯齿形金属电容极板(1)之间设置有钛酸钡与PDMS复合微球层(2);所述锯齿形金属电容极板(1)包括柔性PDMS衬底,所述柔性PDMS衬底的上表面...
该专利属于太原工业学院所有,仅供学习研究参考,未经过太原工业学院授权不得商用。
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