下载一种光激发气敏传感测试系统的应用的技术资料

文档序号:19174196

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本发明公开了一种光激发气敏传感测试系统的应用,其特征在于,包括以下步骤:在室温下,将宽带隙半导体的传感器放入半导体测试仪的测试腔中,在半导体测试仪的测试腔中通入待测试气体,将紫外光光源靠近到半导体测试仪的测试腔体,同时将宽带隙半导体的传感器...
该专利属于上海电机学院所有,仅供学习研究参考,未经过上海电机学院授权不得商用。

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