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一种表面量测方法及表面量测系统。表面量测方法用以量测待测晶圆的表面，包含以下步骤：利用表面量测装置对待测晶圆进行表面扫描，以取得待测晶圆的表面量测信息；利用移动装置依据表面量测信息的其中一个高度数据，使白光干涉仪移动至启始扫描位置。白光干涉...
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