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本发明提供一种热板装置，包括热板和与所述热板以通道连接的温控介质腔，所述温控介质腔提供氟化液，所述氟化液在所述热板中循环流动。本发明提供热板装置，利用氟化液作为温控介质，保证了热板装置的温度均匀性。...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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