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本实用新型提供一种多线切硅片脱胶超声清洗装置，包括支架、设置于所述支架上的超声水槽、设置于所述超声水槽一侧的超纯水进口、超声波清洗组件以及硅片承托架；超声波清洗组件包括设置于所述超声水槽内的超声振板件及控制该超声振板件的超声波发生器，超声振...
该专利属于浙江中晶科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中晶科技股份有限公司授权不得商用。

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