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本发明涉及一种研磨液搅拌装置，包括：存储机构、旋转机构及搅拌机构，旋转机构包括基座和旋转单元，基座的承载面支撑旋转单元，旋转单元套接在存储机构的外壁上以驱动存储机构绕其中心轴旋转，并且，存储机构的中心轴平行于基座的承载面；搅拌机构具有主动轴...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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