下载形状测定装置的技术资料

文档序号:19119490

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本发明提供一种形状测定装置。形状测定装置(1)具有:第一立柱(11)和第二立柱(12),其形成用于支承探针(7)的移动机构(10)的门型构造;第一引导部(21),其由第一材质(钢铁)形成且对第一立柱(11)进行引导;第二引导部(22),其与...
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