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计测装置制造方法及图纸
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下载计测装置的技术资料
文档序号:19109589
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提供在机床所使用的机载测定装置中能精密测定计测对象的表面微细构造的深度方向的形状的结构。机载计测装置具备:使计测对象的被切削材料相对于激光光源相对地移动来进行激光的扫描照射的移动机构;使来自激光光源的光垂直入射至被切削材料的半透半反镜;将在...
该专利属于发那科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过发那科株式会社授权不得商用。
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