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中国科学院半导体研究所
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基于模斑转换结构的超辐射发光二极管制造技术
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下载基于模斑转换结构的超辐射发光二极管的技术资料
文档序号:19100806
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本公开提供了一种基于模斑转换结构的超辐射发光二极管,包括:n‑InP衬底;无源波导层,设置于n‑InP衬底上;有源区,设置于无源波导层上,用于发射激光,包括应变量子阱和设置于应变量子阱上的势垒层;波导结构,设置于有源区上,所述波导结构包括:...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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