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光子增强的晶体管和功率电子器件制造技术
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文档序号:19100304
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本发明公开了一种光子增强的晶体管和功率电子器件,其中该光子增强的晶体管包括:第一半导体层,具有第一导电类型且为轻掺杂;形成在第一半导体层之中的源区,具有第一导电类型且为重掺杂;形成在源区之上的源极金属层;形成在第一半导体层之中的沟道区,具有...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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