下载电荷存储单元以及制造电荷存储单元的方法的技术资料

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本公开涉及电荷存储单元以及制造电荷存储单元的方法。一种可用于利用衬底材料中的第一沟槽和第二沟槽来制造电荷存储单元的方法。用掺杂材料填充该第一沟槽。用第二沟槽材料填充该第二沟槽。该方法包括使该掺杂剂从该第一沟槽扩散从而提供与该第一沟槽相邻的掺...
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