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本发明提供一种烘烤炉及光阻预烘烤方法。本发明的烘烤炉包括炉体、开关门、加热板及多条喷气管，当所述开关门开启时，所述多条喷气管用于向出入口喷出热气以防止烘烤腔外的气体进入，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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