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一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法，属于传感器技术领域。技术要点：利用原位生长氧化铝制造出传感器基片，在其上形成催化敏感单元、催化补偿单元、热导补偿单元，催化补偿单元同时兼有热导敏感单元功能。通过薄膜溅射和干法刻蚀工艺...
该专利属于哈尔滨工程大学;重庆海士测控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工程大学;重庆海士测控技术有限公司授权不得商用。

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