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一种旋转光栅编码器测量装置及旋转位移测量方法制造方法及图纸
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文档序号:19096301
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本发明公开了一种旋转光栅编码器测量装置,其包括由主轴驱动旋转的反射式光栅码盘和中央处理模块,反射式光栅码盘的内圈设有增量码道、外圈设有绝对码道;反射式光栅码盘内圈内设有内平行光束模块、内光学放大模块和内高速图像采集模块;反射式光栅码盘外设有...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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