下载清洗掩膜版的方法以及装置的技术资料

文档序号:19092110

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本发明提供了清洗掩膜版的方法以及装置。其中,清洗掩膜版的方法包括:提供待清洗的掩膜版,所述待清洗的掩膜版包括掩膜版本体以及待清洗金属,所述待清洗金属形成在所述掩膜版本体的至少一部分表面上;在对所述掩膜版本体进行阴极保护的条件下,对所述待清洗...
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