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本发明涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体生产线，包括供料单元、反应单元、收料单元和循环水冷单元。所述供料单元包括硅粉投料机构、氮气制备增压装置和微波等离子预热器。所述反应单元包括悬浮反应器和保温冷却器。所述收料单元包括气粉分离器、包装...
该专利属于浙江东瓷新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江东瓷新材料有限公司授权不得商用。

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