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本发明提供了一种降低阳极钽芯氧含量的方法及其设备，涉及电子元器件制造技术领域。降低阳极钽芯氧含量的方法，包括如下步骤：(a)将带有碱性金属蒸汽的惰性气体等离子化，形成含碱性金属的惰性气体等离子体；(b)将钽芯置于含碱性金属的惰性气体等离子体...
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