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本发明提供一种锻造方法及靶材的形成方法,其中,锻造方法包括:提供铸锭,所述铸锭为柱体;对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造,形成锻锭,所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向,所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。其中,通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种锻造方法及靶材的形成方法,其中,锻造方法包括:提供铸锭,所述铸锭为柱体;对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造,形成锻锭,所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向,所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。其中,通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒...