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微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法制造方法及图纸
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下载微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法的技术资料
文档序号:19076872
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本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置,采用等离子体天线作为耦合天线。本申请还公开了一种金刚石的合成方法,采用等离子体天线作为耦合天线,通过微波等离子体化学气相沉积方法合成金刚石。本申请还公开了微波等离子体化学气相沉积装置在单晶金刚石...
该专利属于FD3M公司所有,仅供学习研究参考,未经过FD3M公司授权不得商用。
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