下载一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法的技术资料

文档序号:19076522

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本发明公开了一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法,采用磁控溅射的方法沉积第一非晶层,然后在第一非晶层上再沉积第二非晶层,交替沉积形成非晶/非晶纳米多层薄膜。本发明制备的多层膜界面明晰,可以很容易通过控制单层薄膜的厚度来得到塑性提高...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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