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本发明提供产酸温度高的热产酸剂及使用其的抗蚀剂组合物。一种磺酸衍生物化合物，其由下述通式(I)(式(I)中，R1表示碳原子数1～18的脂肪族烃基等或下述通式(II)(通式(II)中，Y1表示单键或碳原子数1～4的烷二基，R11和R12各自独...
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