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导电性层叠薄膜制造技术
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文档序号:19071979
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提供同时满足优异的阻隔性和耐化学药品性的导电性层叠薄膜。本发明的导电性层叠薄膜(100)具有:基材(10);在基材的一侧自该基材侧起依次设置的、包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层(20)及表面保护层(40);以及设置于基材的另一侧的导...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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