导电性层叠薄膜制造技术

提供同时满足优异的阻隔性和耐化学药品性的导电性层叠薄膜。本发明专利技术的导电性层叠薄膜(100)具有：基材(10)；在基材的一侧自该基材侧起依次设置的、包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层(20)及表面保护层(40)；以及设置于基材的另一侧的导电层(50)。1个实施方式中，导电性层叠薄膜在第1氧化物层与表面保护层之间还具有由SiO2构成的第2氧化物层(30)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】导电性层叠薄膜
本专利技术涉及导电性层叠薄膜。更详细而言，本专利技术涉及在基材的一侧具有至少1个氧化物层、在相反侧具有导电层的层叠薄膜。
技术介绍
以往，在图像显示装置(例如液晶显示装置、有机电致发光(EL)显示装置)、太阳能电池(例如薄膜型太阳能电池、薄膜太阳能电池)中使用阻隔薄膜。在这种阻隔薄膜的开发中，作为制膜速度快、折射率低、具有良好的阻气性的阻隔薄膜，提出了在Al-Zn-O(添加铝的氧化锌)膜中添加有SiO2的透明氧化物膜(薄膜)(专利文献1)。另外，近年来以智能电话为代表，图像显示装置兼具触摸面板型输入装置的触摸面板型输入显示装置正在急剧增加。如果上述阻隔薄膜能够作为触摸面板用导电性薄膜使用，则装置的薄型化得以实现，是非常理想的。但是，上述透明氧化物膜的耐化学药品性(例如耐酸性、耐碱性)非常不充分，无法适用于导电性薄膜的导电层的图案化(代表性地为蚀刻)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-189657号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是为解决上述以往的问题而作出的，其目的在于，提供同时满足优异的阻隔性和耐化学药品性的导电性层叠薄膜。用于解决问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导电性层叠薄膜，其具有：基材；在该基材的一侧自该基材侧起依次设置的、包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层、及表面保护层；以及设置于该基材的另一侧的导电层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.29 JP 2016-0165291.一种导电性层叠薄膜，其具有：基材；在该基材的一侧自该基材侧起依次设置的、包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层、及表面保护层；以及设置于该基材的另一侧的导电层。2.根据权利要求1所述的导电性层叠薄膜，其中，在所述第1氧化物层与所述表面保护层之间还具有由SiO2构成的第2氧化物层。3.根据权利要求1或2所述的导电性层叠薄膜，其中，所述基材与构成所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本幸大，梨木智刚，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP