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一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构制造技术
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下载一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构的技术资料
文档序号:19063802
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本发明公开了一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构,它包括蓝宝石图形衬底以及沉积于所述蓝宝石图形衬底上的三明治反射结构,所述三明治反射结构包括沉积于所述蓝宝石图形衬底上的第一Al2O3多层结构、沉积于所述第一Al2O3多层结构上...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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