下载一种阵列基板及制备方法的技术资料

文档序号:19063521

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本发明提供一种阵列基板及制备方法,所述方法包括以下步骤:先提供一基板,在所述基板上依次制备缓冲层、多晶硅层以及第一栅绝缘层;然后在所述第一栅绝缘层上制备一层第一栅极金属层,在所述第一栅极金属层上制备一层第一防光阻不黏金属膜,曝光显影后形成图...
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