温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种TFT阵列基板的制作方法及TFT阵列基板。该TFT阵列基板的制作方法在形成位于栅极上方的有源层后，在栅极绝缘层与有源层上依次沉积电极材料层与金属材料层，并在金属材料层上制作光阻图案，光阻图案包括厚度不同的第一、第二光阻块，利用...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。