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一种热处理设备及其热处理方法，所述热处理设备包括热处理腔体、热处理灯、用于放置晶圆的晶圆基座，还包括：遮光板，设置于所述热处理腔体内；遮光板控制部件，与所述遮光板耦接，所述遮光板控制部件带动所述遮光板移动至预设隔离位置，以阻隔所述热处理灯对...
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