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一种提升芯片分离率的切割方法技术
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文档序号:19063339
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本发明公开了一种提升芯片分离率的切割方法,在使用激光切割的过程中,通过对激光参数的调整,达到不同的切割深度,保证余留未切深度在20‑40μm的情况下,使芯片背面切割后,激光所留下的痕迹呈明显的开口式造型,提升芯片经人工或机器裂片后的分离率,...
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