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本发明公开了一种半导体生产用等离子刻蚀机，包括等离子刻蚀机本体、第一弹性元件和第二弹性元件，所述等离子刻蚀机本体的底部设置有第一固定块，且第一固定块的内部安装有第一销轴，所述第一弹性元件的一端固定于等离子刻蚀机本体的底面，且第一弹性元件的另...
该专利属于梁亚所有，仅供学习研究参考，未经过梁亚授权不得商用。

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