下载具有软支撑结构的MEMS压电扬声器的技术资料

文档序号:19062004

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本实用新型公开了一种具有软支撑结构的MEMS压电扬声器。其中,该MEMS压电扬声器包括:基底,其中央区域为空心区域;复合介质膜层,位于基底的上方,内部包含一环形槽,该环形槽位于空心区域的上方;压电单元,位于环形槽内侧的复合介质膜层的上方;以...
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